Computational Semiconductor Processing: Lithography for an IC DFM

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Franklin Schellenberg

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Dec 31, 2050 · Englisch · Gebundene Ausgabe (525 Seiten)

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Buchdetails

Format Gebundene Ausgabe

Seiten 525

Sprache Englisch

Veröffentlicht Dec 31, 2050

Verlag CRC Press

ISBN-10 1420068229

ISBN-13 9781420068221

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