Optical Characterization in Microelectronics Manufacturing

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1994 · Englisch · Taschenbuch
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Beschreibung

Covers ellipsometry, infrared spectroscopy, optical microscopy, modulation spectroscopy, photoluminescence & raman scattering. Bibliography.

Buchdetails

Format Taschenbuch
Seiten 34 Seiten
Sprache Englisch
Veröffentlicht Jun 1, 1994
Verlag Diane Pub Co
ISBN-10 0788115391
ISBN-13 9780788115394
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