Optical Characterization in Microelectronics Manufacturing
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1994
·
Englisch
·
Taschenbuch
Covers ellipsometry, infrared spectroscopy, optical microscopy, modulation spectroscopy, photoluminescence & raman scattering. Bibliography.
Format
Taschenbuch
Seiten
34 Seiten
Sprache
Englisch
Veröffentlicht
Jun 1, 1994
Verlag
Diane Pub Co
ISBN-10
0788115391
ISBN-13
9780788115394