Optical Characterization in Microelectronics Manufacturing

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1994 · Inglese · Brossura
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Descrizione

Covers ellipsometry, infrared spectroscopy, optical microscopy, modulation spectroscopy, photoluminescence & raman scattering. Bibliography.

Dettagli del libro

Formato Brossura
Pagine 34 pagine
Lingua Inglese
Pubblicato Jun 1, 1994
Editore Diane Pub Co
ISBN-10 0788115391
ISBN-13 9780788115394
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