Optical Characterization in Microelectronics Manufacturing

Name: Optical Characterization in Microelectronics Manufacturing
ISBN: 9780788115394

Sidney Perkowitz , David G. Seiler

Nog geen beoordelingen

Jun 1, 1994 · Engels · Paperback (34 pagina's)

Beoordeel dit boek

Boekdetails

Formaat Paperback

Pagina's 34

Taal Engels

Gepubliceerd Jun 1, 1994

Uitgever Diane Pub Co

ISBN-10 0788115391

ISBN-13 9780788115394

Covers ellipsometry, infrared spectroscopy, optical microscopy, modulation spectroscopy, photoluminescence & raman scattering. Bibliography.

Beoordeel dit boek